КИМ повышенной точности позволяют решить сложные метрологические задачи, требующие точности до 1 , 2 мкм Большой ассортимент типоразмеров позволяет выбрать требуемый диапазон для определенной задачи.
-
КИМ с ЧПУ серии ONYX+
Тип направляющих Пневматические подшипники на каждой оси Разрешение 0,1 мкм Совместимые измерительные системы
Триггерные датчики: TP200 Сканирующие датчики: SP25M, SP80 Измерительные головки: PH6, PH6m, PH10, PH10 Plus (модификации M/MQ/T/iQ), REVO, REVO-2 Программное обеспечнние Rational DMIS
-
КИМ с ЧПУ серии RUBIN
Тип направляющих Пневматические подшипники на каждой оси Разрешение 0,1 мкм Совместимые измерительные системы
Триггерные датчики: TP20, TP200 Сканирующие датчики: SP25, SP80 Измерительные головки: MH8, MH20, PH6, PH10, PH20, REVO Программное обеспечнние Rational DMIS
-
КИМ с ЧПУ серии SAPFIR
Тип направляющих Пневматические подшипники на каждой оси Разрешение 0,05 мкм Совместимые измерительные системы
Триггерные датчики: TP20, TP200 Сканирующие датчики: SP25, SP80 Измерительные головки: MH8, MH20, PH6, PH10, PH20, REVO Программное обеспечнние Rational DMIS Visual DMIS
